當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>臺(tái)式掃描電鏡>> CEM3000實(shí)驗(yàn)室桌面型掃描電鏡
中圖儀器CEM3000系列實(shí)驗(yàn)室桌面型掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺(tái)式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能。
CEM3000在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價(jià)值,標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測(cè)需求,實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
產(chǎn)品功能
1.高分辨率,滿足用戶觀測(cè)需求;
2.快速抽放氣,縮短等待時(shí)間;
3.高易用性
可快速成像,一鍵成片;
4.多種成像參數(shù)
滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
5.高抗振防磁性能
強(qiáng)抗干擾能力;
6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉(cāng)內(nèi)真空度,進(jìn)而對(duì)不同類型的樣品進(jìn)行觀測(cè)。
7.大樣品倉(cāng)
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時(shí),具有比肩立式電鏡的大倉(cāng)室,從而容納更大尺寸樣品;
8.多探測(cè)器
可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級(jí)別景深,具有高空間分辨率。
4.多探測(cè)器可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
應(yīng)用場(chǎng)景
材料科學(xué):納米材料(如60nm銀線)、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結(jié)構(gòu)分析。
新能源:太陽(yáng)能電池板缺陷檢測(cè)、涂層性能評(píng)估。
生物醫(yī)療:微流控芯片表面形貌觀測(cè)、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢:錫球顆粒焊接質(zhì)量、精密器件表面粗糙度檢測(cè)。
CEM3000系列實(shí)驗(yàn)室桌面型掃描電鏡則憑借其簡(jiǎn)便的操作系統(tǒng),讓復(fù)雜的掃描電鏡使用過程變得簡(jiǎn)單快捷。樣品一鍵裝入,自動(dòng)導(dǎo)航和一鍵出圖能力(自動(dòng)聚焦+自動(dòng)消像散+自動(dòng)亮度對(duì)比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。
機(jī)型選擇
CEM3000A(大樣品倉(cāng)型):70mm×70mm樣品倉(cāng),兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專為振動(dòng)環(huán)境設(shè)計(jì),抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩(wěn)定。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | CEM3000A(大樣品倉(cāng)型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測(cè)器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配:自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量、纖維測(cè)量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X,Y,T |
手動(dòng)軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉(cāng)內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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